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PSEM系列

PSEM系列

PSEM系列室温电磁铁测头台是专为室温变磁场电测量环境而研制的测头台, 提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场, 可达2英寸, 4英寸晶圆可重复性, 标准电学实验, 外部不同的测试设备可以完成对设备电气特性的测试, 参数测量, 直流测量, 射频测量, 和霍尔测量.

PSEM系列概述

  室温电磁铁探测级不仅可以执行永久性磁铁探测级可以完成的测试, 同时也为样品检测提供了可变磁场,具有更强的磁场和更大的均匀磁场区. 该探头台是为在测量过程中需要连续磁场变化的实验和芯片的无损检测而设计的, 室温下的晶圆片和器件.


  PSEM系列室温电磁铁测头台是专为室温变磁场电测量环境而研制的测头台, 提供±0.6T垂直磁场或±0.3T水平磁场, 可达2英寸, 4英寸晶圆可重复性, 标准电学实验, 外部不同的测试设备可以完成对设备电气特性的测试, 参数测量, 直流测量, 射频测量, 和霍尔测量.


特点:
-样品架可容纳4英寸晶圆样品. 把载玻片移到样品夹下面, X-Y轴行程可达±50mm, 样品夹本身可以在三维上进行精细调整, 这使得样品检测和换样更加方便.
—探头臂底部用磁铁固定, 允许探头在三维空间内调整, x y z, 还有样品夹的移位调节, 探针可以快速插入到4英寸样品的任何位置(6个探针臂可以安装), 探测台上可安装4个水平磁场电磁铁).
-带三轴电缆和三轴连接器的探头臂, 小漏, 漏电流在100fA以内, 探头臂内置电缆,避免布线杂乱.
—探头用针套固定, 只有针尖露出来, 减少漏电.
-电磁铁支架和探头工作台采用单独的隔离支架,避免磁铁运动时振动传递给样品.
-样品固定方法采用多孔隔板吸附, 外环有三个独立控制的气体吸附通道, 内环和中间, 哪个可以吸附和固定1mm*1mm的样品.
- CCD放大180倍,工作距离100mm.

PSEM系列技术参数


PSEM系列基本配置

半导体
IC
晶片

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